上海金畔生物科技有限公司供应的溅射靶材主要通过烧结、热等静压、真空熔炼、粉末冶金等方法制备,可根据客户的具体要求定做不同成分、规格的镀膜材料,并为客户提供技术上的服务与支持。
钛铝合金是一种真空镀膜用合金溅射靶材,在该合金中通过调配钛与铝的含量可以获得不同特性 的钛铝合金靶材。钛铝金属间化合物属于硬脆材 料,具有很好的耐磨性,在普通刀具表面覆着一层钛 铝金属间化合物,可以有效延长刀具的使用时间。
溅射合金靶材需要满足纯度、致密度、晶粒度、表面光洁度等要求。其中纯度、致密度及晶粒度 与靶材制备工艺直接相关。金属合金制备通常采用的普通熔炼法。但钛铝合金的制备不适于采用该方法,主要原因如下:
(1) 钛铝合金熔炼过程易形成多种金属间化合物,如 Ti3A1、TiAl、TiAl2、TiAl3等,这些金属间化合物的存 在导致钛铝合金的加工脆性,特别是当合金中铝含 量超过50%(原子比),该问题尤为明显;
(2)熔炼工 艺制备钛铝合金靶材,浇注过程中易产生气泡、疏松 和偏析,造成合金中成分与组织不均匀,导致靶材品 质不稳定蚓6。
目前钛铝合金溅射靶材的主要制备技术有:强 电流加热法、热等静压烧结法、热压烧结法。
1.强电流加热法
该法采用可获得大电流的装置, 利用大电流使钛粉和铝粉发热,施以压力,使铝和钛 自身反应形成钛铝合金靶材。该法制备得到的钛铝合金靶材产品的致密度 >99%,晶粒尺寸≤100微米,纯度>99%。
2.热等静压烧结法
该法将钛粉和铝粉进行混料,然后 经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热 等静压压制成型,最后进行烧结和加工得到钛铝合金靶材。该法制备的钛铝合金靶材具有致密度高、无气 孔、无疏松和偏析、成分均匀、晶粒细小等特点。
3.热压烧结法
该工艺使钛铝粉体在热和力的共同 作用下烧结成型,利用Ti—Al混合物中铝的熔点 低,将钛粉粘结在一起,形成合金溅射靶材。热压 烧结示意图如图2所示。该法制备得到的合金靶材致密度高(≥95%), 晶粒尺寸细小(≤100 微米),成分均匀。用该工艺可 制备出不同成分的钛铝合金靶材。
以下是客户经常购买的金属合金靶材,如有金属溅射靶材的需要请来咨询我们。
产品名 | 元素符号 | 纯度 |
镍钒合金靶材 | Ni + V | 3N, 3N6, 4N |
镍铁合金靶材 | Ni + Fe | 3N5, 4N |
镍铬合金靶材 | Ni + Cr | 3N, 3N6, 4N |
铁钴合金靶材 | Fe + Co | 3N, 3N6, 4N |
铁钴钽锆合金靶 | Fe + Co + Ta + Zr | 3N5 |
钴钽锆合金靶材 | Co + Ta + Zr | 3N, 3N5 |
铜镓合金靶材 | Cu + Ga | 4N, 5N |
铜铟合金靶材 | Cu + In | 4N, 5N |
铜铟镓合金靶材 | Cu + In +Ga | 4N, 5N |
钛铝合金靶材 | Ti + Al | 2N8 |
镁铝合金靶材 | Mg+Al | 3N5 |
铝硼合金靶材 | Al+B | 3N~5N |
铝铜合金靶材 | Al+Cu | 3N~5N |
铝硅合金靶材 | Al+Si | 3N~5N |
铝钇合金靶材 | Al+Y | 3N~5N |
铝铬合金靶材 | Al+Cr | 3N~5N |
铝铁合金靶材 | Al+Fe | 3N~5N |
铝钛合金靶材 | Al+Ti | 3N~5N |
铝钪合金靶材 | Al+Sc | 3N~5N |
铝钒合金靶材 | Al+V | 3N~5N |
铝铬钇合金靶材 | Al+Cr+Y | 3N~5N |
金锗合金靶材 | Au+Ge | 3N~5N |
金银合金靶材 | Au+Ag | 3N~5N |
金锡合金靶材 | Au+Sn | 3N~5N |
金镍合金靶材 | Au+Ni | 3N~5N |
锇铱合金靶材 | Os + Ir | 3N5 |
锇铱铝合金靶材 | Os + Ir + Al | 3N |
锇铼合金靶材 | Os + Re | 3N |
锇钨合金靶材 | Os + W | 3N |
锇钌合金靶材 | Os + Ru | 3N |
银铜合金靶材 | Ag + Cu | 4N |
银金合金靶 | Ag + Au | 4N |
银锡合金靶材 | Ag + Sn | 4N |
银铟合金靶材 | Ag + In | 4N |
银锌合金靶材 | Ag + Zn | 4N |
钯银合金靶材 | Pd + Ag | 4N |
钯铁合金靶材 | Pd + Fe | 3N |
金铜合金靶材 | Au + Cu | 4N |
钌钴铬合金靶材 | Ru + Cr + Co | 3N5 |
钌铬钛合金靶材 | Ru + Cr + Ti | 3N |
钌钽合金靶材 | Ru + Ta | 3N5 |
铂钴合金靶材 | Pt + Co | 3N5 |
铂镍合金靶材 | Pt-Ni | 3N5 |
铂铁合金靶材 | Pt + Fe | 3N |
铱锰合金靶材 | Ir + Mn | 3N |