硅(Si)基片晶体基片|半导体材料

硅(Si)基片晶体基片|半导体材料

硅片镀膜、通讯、激光光电和红外光学等行业提供高品质、高精度的单晶硅(多晶硅)晶体元器件,以及在产品设计及应用方面为客户提供专业的技术支持。

公司产品包括直拉(CZ)单晶硅、区熔(FZ)单晶硅切割片(as cut)以及研磨片(lapped),可根据用户需求,选择合适的材料,并加工成各种形状(圆形,方形,长方形等)。


产品信息:

硅(Si)基片晶体基片|半导体材料

硅(Si)基片

硅(Si)基片用途:用作半导体材料,大功率晶体管,整流器,太阳能电池等。

晶体结构

面心立方

熔点(℃)

1420

密度

2.4(g/cm3)

掺杂物质

不参杂

B

P

 型

 N或P

 阻 率

>1000Ωcm

10-3~40Ωcm

102~104Ωcm

E P D

≤100∕cm2

≤100∕cm2

≤100∕cm2

氧含量(∕cm3)

≤1~1.8×1018

≤1~1.8×1018

≤1~1.8×1018

碳含量(∕cm3)

≤5×1016

≤5×1016

≤5×1016

尺寸

10×10mm、15×15mm、Dia50.8mm、Dia76.2mm、Dia100mm可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的基片

厚度

0.3-0.5mm、1.0mm

尺寸公差

<±0.1mm

厚度公差

<±0.015mm特殊要求可达到<±0.005mm)

抛光

单面或双面

晶面定向精度

±0.5°

边缘定向精度

2°(特殊要求可达到1°以内)

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